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首条八英寸硅单晶抛光生产线建成

字号+作者:人民日报 来源:人民日报 2003-12-20 00:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

首条八英寸硅单晶抛光生产线建成 第1版(要闻) 专栏:   首条八英寸硅单晶抛光生产线建成   本报北京12月19日讯 记者贾西平报道:我国第一条可满足0.2'...

首条八英寸硅单晶抛光生产线建成

第1版(要闻)
专栏:

  首条八英寸硅单晶抛光生产线建成
  本报北京12月19日讯 记者贾西平报道:我国第一条可满足0.25微米线宽集成电路需求的8英寸硅单晶抛光生产线,今天在北京通过国家验收。这对满足我国半导体器件市场需求,促进深亚微米集成电路的技术进步,具有现实意义。
  由北京有色金属研究总院承担的8英寸硅单晶抛光片高技术示范工程,集中了该院几十年来在硅材料领域的研究成果和产业化经验,拥有自主知识产权。

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