世界最高精度驱动装置

【日本《日经产业新闻》６月２３日报道】日本新技术开发事业团研究出利用线性电动机使定位精度达到百万分之一毫米的世界最高性能的驱动装置。这个装置结构简单，可用于下一代超大规模集成电路的生产。
这种驱动装置依靠测量粗刻度的光学测量尺和判断细刻度的微小变位表来精确地自动测量位置，并以线性电动机为驱动源，利用轴承移动，可在百万分之一毫米的范围内准确定位。
至今为止，生产超大规模集成电路用的缩小投影型露光装置，是使用靠螺丝旋转而产生的动力来驱动的驱动装置，其精确度只能达到数十微米。而且还要分别安装高速移动的驱动装置和精确定位装置。而新装置只用一个线性电动机就解决了这个问题。