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在半导体中埋入单晶金属线

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1989-06-25 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

在半导体中埋入单晶金属线日本《日刊工业新闻》６月２日报道，日立制作所应用分子线外延法，在单晶硅里埋入了钴硅单晶金属细线。把金属线埋入半导体的结构，是'...

在半导体中埋入单晶金属线

日本《日刊工业新闻》６月２日报道，日立制作所应用分子线外延法，在单晶硅里埋入了钴硅单晶金属细线。把金属线埋入半导体的结构，是打破现在的大规模集成电路技术限界的有力手段。

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