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代替氟利昂的半导体晶片洗净技术

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1989-06-21 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

代替氟利昂的半导体晶片洗净技术日本《日刊工业新闻》六月八日报道，三菱电机公司和大阳氧气公司共同研制成「冰微粒洗净装置」，用这种装置对半导体晶片'...

代替氟利昂的半导体晶片洗净技术

日本《日刊工业新闻》六月八日报道，三菱电机公司和大阳氧气公司共同研制成「冰微粒洗净装置」，用这种装置对半导体晶片喷吹冰微粒，由摩擦力和冷却效果造成的收缩率使晶片上的异物和油脂脱离。

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