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半导体制造工程排气处理装置

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1988-12-02 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

半导体制造工程排气处理装置日本《日刊工业新闻》十一月二十三日报道，三井东压化学公司研制成的排气处理装置一分钟可分解处理五百立方厘米的硅烷气。'...

半导体制造工程排气处理装置

日本《日刊工业新闻》十一月二十三日报道，三井东压化学公司研制成的排气处理装置一分钟可分解处理五百立方厘米的硅烷气。

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