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制造电子器件的新技术

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1988-12-01 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

制造电子器件的新技术《日本经济新闻》十一月十九日报道，日立制作所研创的这项新技术称作「微波等离子反应性蒸镀技术」，是使超导薄膜和硅衬底结合制成'...

制造电子器件的新技术

《日本经济新闻》十一月十九日报道，日立制作所研创的这项新技术称作「微波等离子反应性蒸镀技术」，是使超导薄膜和硅衬底结合制成电子器件。在四百三十到四百五十摄氏度条件下即可制造钇钡铜氧化物薄
膜。

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