能印制超微集成电路的新材料

【《日本经济新闻》三月十五日报道】松下电器产业公司和林原生物化学研究所应用把电子技术和生物技术融合在一起的“生物电子技术”，成功地开发出水溶性光聚合物（ＷＳＰ）。ＷＰ是一种能够印制超微（不到一微米）领域的超微级集成电路的新材料。
据认为，这种新材料将为超超大规模集成电路的实用化开辟道路。
松下电器产业公司和林原生物化学研究所开发的ＷＳＰ是把多糖类化合物同光漂白试剂化合在一起的聚合物。多糖类化合物是使用林原生物化学研究所的有代表性的生物技术——酶工程制作出的新物质。为了使多糖类化合物同在集成电路制造工艺中的光学式复制技术互相配合，因而考虑出使它同光漂白功能结合在一起的方法。据说，薄薄地涂一层多糖类化合物同光漂白剂的结合物，就可以防止曝光时发生散射光。松下电器产业公司的实验证明，即使描线的宽度窄到零点五微米，也能复制出清晰的图形。由于ＷＳＰ易溶于水，因而冲洗简便，不怕热处理。
这种新材料一旦实用化，就可能印制超微领域的超微级电路，可望研制进一步提高集成度的超超大规模集成电路。