新型光电子元件

【日本《日经产业新闻》一月二十八日报道】日本电信电话会社厚木电气通信研究所不久前试制成功一种接受光信号并将其转换成电信号，然后加以放大的元件。这种元件将光元件和电子元件集中在一块芯片上，是所谓的光电子集成电路的一种。其特点是改进了元件的结构，容易制造，可靠性高。这种光电子集成电路可望应用在光通信系统的中继器、光存储器等方面。
这次试制的元件的面积约为三百微米乘四百微米，中央部分置一直径为八十微米的圆形ＰＩＮ型光电二极管（受光元件），其四周置有电场效应晶体管。
基板是用半绝缘性的磷化铟做成的，上面敷有高纯度的铟、镓、砷薄层。在这一层上形成了光电二极管的受光部分、电粉效应晶体管的门极。
这种元件的最大特征是电场效应的门极采用了该所独特的柱状结构。这就是以五微米的间隔排列着许多底面积为四微米乘四微米的方柱，向电极施加电压后，便可控制从方柱间穿过的电流。通过改变方柱的大小和间隔等还可以设计不同用途的元件。
这种方柱是通过部分地向铟、镓、砷薄层注入铍离子形成的，同时也就形成了成分相同的光电二极管的受光部分。
用波长一点五微米的光照射这个元件，便会产生电流。光电二极管把光转换成电流，电场效应晶体管再将电流放大，放大率为四倍。