日本电子厂家向超微技术挑战

【日本《日刊工业新闻》一月十一日报道】题：日立公司向超微领域挑战
日立制作所为研究开发新一代超大规模集成电路而建设了一栋超微级研究大楼。这座建筑已在其中央研究所内动工兴建，不久即可竣工。以研究开发超微级超大规模集成电路为目标的东芝、松下集团、三菱电机等企业都已建成或正在建设这样的研究设施。日立制作所还决定建立推进超长期的研究开发的基础研究所，在这里将研究开发应用生物技术的生物芯片（生物半导体）等以二十一世纪为目标的产品。日立采取双管齐下的战术，即在不久的将来制造四兆位以上的新一代超大规模集成电路和确立在十年以后大发展的生物芯片的基础技术，以向“未来的技术”挑战。
现在，半导体技术已进入以２５６Ｋ位存储器为代表产品的超大规模集成电路时代，一块芯片上装载二百万个元件的一兆位存储器业已试制出来。在制作集成度四倍于一兆位的四兆位存储器时，电路的最小图形的线幅将低于一微米，进入超微领域。不仅是存储器，而且门阵列（ＧＡＴＥＡＲＲＡＹ）和微处理器等超大规模集成电路产品都即将进入超微图形时代。
特别是在实现四兆位存储器的情况下，据认为有可能使用紫外线，而在制作十六兆位存储器时，将要求Ｘ光、电子束、离子束等超微细加工技术，而且还不能缺少具有超洁净度的超净工作间和最尖端的半导制造装置，同时也需要采用和过去不同的新材料和确立形成薄膜的新技术。
根据这一情况，各公司都以确立超微技术为目标，东芝、冲电气两公司已建成研究设施，松下电器、松下电子和三菱电机、三洋电机等公司正在建设这种研究设施。在半导体生产上居我国第一、第二位的日本电气公司和日立制作所都在使用现有的研究所进行这方面的研究开发。不过日立制作所为了进一步加强对新一代超大规模集成电路的研究开发，提高效率，决定建设专用的研究大楼，并从该公司的中央研究所以及其他研究机构中抽调精干的工程技术人员到这里工作。日立制作所还决定二月建立基础研究所，以推进二十年之后大显身手的生物芯片、光集成电路、人工智能等创造性开发因素很强的研究开发。
这样，日立制作所就建立了研究新一代超大规模集成电路和未来的元件的体制，它将为确立独特的技术开展积极的研究开发活动。