「硅岛」掠影（二）

ＩＣ履历书三菱电机熊本第二工厂院内，有一座称为“Ｃ栋”的三层建筑，看上去比一般的五层楼还高。在这里，生产着超大规模ＩＣ的第一代产品—６４Ｋ存贮器。
进行硅片处理的超净车间在二层楼。车间靠走廊的一侧均是大玻璃窗，参观者不必进入车间即可看见光刻、扩散、腐蚀等工序的情景。
超净间的清洁度根据工种的要求而划分为不同等级。其中１００级是指在一立方英尺空气中含０．５微米以上的尘埃不超过１００个。为了达到这样的清洁度，整个房间的空气在一小时内要替换四百遍，而普通楼房的空调，每小时换气只有十二、三遍。
外界空气经过ＨＥＰＡ过滤器从带孔的屋顶源源流入，又从格子状的地板排出。
保证车间的清洁度，是维持ＩＣ生产成品率的必不可少的前提。所谓成品率就是ＩＣ良品的百分比。
检查硅片的装置的关键部分，是如同多脚蜘蛛一样的探针群。当硅片被送到检验台上，几十根探针同时接触到硅片上，象按脉搏一样检查输入到ＩＣ电路各形的电信号是否按照设计要求运行。一旦发现不良品，探针群中便杀出一根尖刺，在不良芯片上击出伤痕。这样检查之后，硅片上的良品和不良品泾渭分明，良品比例一目了然。这就是ＩＣ企业的核心秘密之一——成品率。
不良芯片包含着失败的教训，包含着如何提高成品率的丰富暗示。因此，它们没有被扔进垃圾堆，而是被送去解析，追究产生不良的原因。可以看到，在测试车间的半成品架上，放置着一盒盒标有各种说明和编号的硅片。原来，为了便于对生产过程进行监督，要对每个ＩＣ编写包括材料、操作者姓名等等内容的详细履历书。奇迹的创造者九州的ＩＣ工厂，几乎每家都积累有数千条技术窍门，它们是由现场的操作者在兢兢业业的工作实践中不断发现和创造的。比如，扩散炉如何加温，硅片在炉管中如何安放，从腐蚀液中取出硅片如何夹持，如何减少用镊子夹持芯片的次数等等。硅片在工序之间移动时，总是装在以特殊塑料制作的硅片盒内以防污染。普通镊子已经看不到了，真空吸着镊子仍在使用。作业者用的防尘服是以不易发生尘埃的特殊纤维制作的，防尘服的洗涤亦在超净间内进行。进入车间之前，洗手规定要洗十秒钟以上。车间入口的空气浴室的气流喷口的角度亦有讲究，使之最有效地冲刷掉人身上的浮尘。女工们不化妆，因为发现化妆品是一种污染源。超净室内禁止使用容易产生粉末的普通铅笔、纸张，而代之以特殊的无尘笔、无尘纸。……正是这些产生于处处有心的现场人员的工作实践的经验和窍门，日积月累，成百上千，才形成了支持ＩＣ生产的高成品率和产品的高竞争力的强大力量。（二）