日大阪大学研制成半导体分析装置

【日本《日经产业新闻》七月二十七日报道】大阪大学基础工学部的滨川圭弘教授等的研究组研制成功了能够把半导体薄膜内部状态摄制成立体断层象的半导体薄膜分析装置，这在世界上是首创。
这个装置是用激光和电子束照射半导体，由电子计算机将检出信号变成立体象，能够看出半导体内部缺陷和光电流分布水平及垂直方向。
据认为，使用这个装置就能提高非晶形太阳电池的能源转换效率，还在开发新的光传感器方面发挥作用。
滨川教授等研制成功的这个装置设有“激光扫描检出部”和电子束扫描的“视象管方式检出部”这么两个检出装置。由十六位微型电子计算机把从这两个检出装置得到的信号处理成为立体象。激光检出部由功率五毫瓦的氦氖激光器能够改变波长的光谱分析光学系统组成，可从反射光的变化与波长的关系查明结晶的物性，也可测定光电流的分布。视象管方式检出部是应用摄象管，由电子束把半导体薄膜内部发生的光电变化变成电信号，分析其活动。
这个装置是作为推进阳光发电的技术开发的工业技术院的阳光计划的一环研制成的。