日将把超精微加工技术列入开发计划

【《日本经济新闻》十二月十六日报道】通产省决定了将在一九八五年以后的大型工业技术研究开发项目中列入超精微加工技术的课题的方针。据认为，使用把光、Ｘ射线、离子等聚成高密度的束，可以有选择地让某些特定的分子或原子发生反应，这种技术除了可以把超大规模集成电路的集成度提高到最大限度外，还能够给医药品和化学物质的制造带来划时代的变化。欧美国家已在着手研究开发这种技术。
从一九七六年起，通产省用了四年时间推进了超大规模集成电路技术的研究开发项目。这使得现在能够制造集成电路的线路宽度在一微米左右的２５６千位至１０００千位的超大规模集成电路。
不过，从原理上看，使用这种技术无法进行精度在零点五微米以下的精微加工。但是据认为，波长极短的高密度、高能量的波束可以打破这个障碍，能够直接描绘线路，为制造四百万以上的下一代超大规模集成电路开辟道路。
镓砷元件，约瑟夫森元件和光电子元件等未来型的高速元件的研究开发正在取得进展。构成现在的超大规模集成电路的硅材料的资源是丰富的，据估计它将和新一代元件同时被广泛地使用。因此，下一代超大规模集成电路的开发正在成为各工业发达国家的下一个目标。
此外，在各种工业原材料的制造上，目前都采取使用热、压力和催化剂的工艺。使用这种制法，不管怎样提高原料的纯度，在许多场合下都不能不同时产生几种反应，因而降低所制取的产品的回收率。要分离、精制这些副产物，是很麻烦的。
通产省计划研究开发的新制法将从根本上消除这些问题，它使用细微的集中起来的高密度波束使特定的原子或分子灵敏地发生化学变化，从而高效率、高纯度地得到所要制取的产品。
如果把这种方法用在制造工业用氯化物单体上，那就可以将现在的回收率（百分之五十八）提高到百分之七十至八十，耗能量减少到二十分之一。据说，在制造维生素Ｄ３时使用这种方法，可把目前大约百分之三十的回收率提高一倍，达到百分之七十。