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铌酸钡钠薄膜

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1988-09-12 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

铌酸钡钠薄膜日本《日刊工业新闻》报道，科学技术厅无机材质研究所和村田制作所共同制成了光集成电路等光器件的材料铌酸钡钠薄膜。这种一微米的薄膜是'...

铌酸钡钠薄膜

日本《日刊工业新闻》报道，科学技术厅无机材质研究所和村田制作所共同制成了光集成电路等光器件的材料铌酸钡钠薄膜。这种一微米的薄膜是应用喷溅法在氧化硅衬底上制作的。

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