低耗电芯片制造技术
【日本《朝日新闻》7月12日报道】题:新一代硅晶片可使耗电降到现在的1/2以下
新日本制铁公司11日宣布,它已经研制出用于制造下一代低耗电大规模集成电路的8英寸硅晶片,并开始向半导体厂家供应样品。
新日铁公司的技术研究所这次研制出来的晶片叫做“Simmox”。这是向一般硅片中注入大量氧离子,经特殊热加工制成的。据说,这种新产品的特点是,晶片的内部有一层绝缘膜,表面有极薄的硅片,在制造大规模集成电路时,将在半导体的运作速度不变的情况下使耗电量降到现在的一半以下。
新日铁公司为实现这种晶片的实用化,正在努力掌握批量生产的技术。

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