显微系统技术大有前途

【德国《法兰克福汇报》４月１８日文章】题：火柴头大小的微型发动机；显微系统技术将产生巨大的市场
显微技术今天能够拿出的最令人惊叹的东西，大概要算可以藏在火柴头里的微型发动机了。另外还有一种极其微小的卫星驱动装置。还有一大批东西逐渐成熟，可以推上市场，或者已有出售，如：有１２根玻璃光缆的插头，它极为精细，可以简单地将照明线路集束在一起；装在喷墨打印机上的极细小的喷嘴；磁层检测系统；光学微型开关和微型分流器。
这些只不过是设在德国美因茨—赫希茨海姆的精密技术研究所今天可以自豪回顾的显微技术大量实际运用中的一些例子。专家们今天估计，显微系统技术到２０００年将能实现４００亿马克市场容量，其中欧洲将占１／５。
在显微系统技术上，目前德国是公认的世界领先。显微技术的科学基础是在不太久以前奠定的。其中一个重要方法是沃尔夫·埃尔菲尔德教授在卡尔斯鲁厄核研究所工作期间完成的，它至今仍是美因茨研究所的一项重点。其工作程序是：将一块导电板涂上浓稠的光刻胶（光敏抗蚀剂），并覆盖上一层膜。这层膜包含着以后的表面结构。
然后用Ｘ光照射光刻胶。Ｘ光在膜层没有盖住的地方使光刻胶发生化学变化。这里的奥妙是：用一种溶解剂可以很快将经照射的胶洗去，其速度比未经照射的部位快得多。这样就得到一块深及底版的覆盖膜凹面模型。然后经过一系列处理就可以得到一种金属结构，在批量生产中通过喷铸或压塑可以将它转到其他材料（如塑料）上。
利用显微技术可以测量出０．５微米的几何图形。人的头发直径是５０—１００微米。这样的尺寸需要全新的加工技术。这就引出加工此类部件的极大需求。从材料的优化、粘合技术直到装配和处理技术，都因显微技术而出现了对新工艺和新用途的广泛需求。
美因茨研究所非常清楚，发明只有通过产品和市场才能转变成福利，因此去年它同弗劳恩霍弗生产技术和自动化研究所一起第一次举办了“显微工程”展览会，使展出者、用户、科学家和专业的参观者聚会斯图加特。今年９月，他们想再现当年可观的成果。