室温单电子半导体器件问世

【日本《日经产业新闻》１２月１６日报道】日本电信电话公司宣布试制成利用量子效应的下一代器件——单电子半导体器件，并使之成功地在室温下工作。
这种器件用一个电子控制电流。制作时采用超微细加工技术，提高了量子细线的加工精度。这种器件能降低耗电量和实现超大规模集成化，所以可望用于制作１０亿位级容量的存储器。日本电信电话公司在这次成果的基础上将研究这种器件的集成化。
日本电信电话公司应用独自的技术在衬底上形成量子细线。这项技术称为注入氧绝缘法，即从外部把氧离子注入硅衬底，使衬底里形成二氧化硅的绝缘层。