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检查半导体器件表面缺陷装置

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1995-01-05 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

检查半导体器件表面缺陷装置《日本工业新闻》１１月３０日报道，设在调布市的新创造公司开发的表面缺陷检查装置是利用光学系统自动调焦方法，可查出小至５微米的微'...

检查半导体器件表面缺陷装置

《日本工业新闻》１１月３０日报道，设在调布市的新创造公司开发的表面缺陷检查装置是利用光学系统自动调焦方法，可查出小至５微米的微细缺陷。

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