微型机器部件接合新技术

【日本《日经产业新闻》１１月７日报道】日本电装公司开发了不用接合剂而把边长为数毫米的微小机械部件直接粘合的技术，并且用这项技术试制成检查管道用的微型机器。
开发的这项技术是用称为“氢结合”的结合方法接合部件。构造物的铝制件、压电器件和电子线路结合在内的硅片等都可用这种技术接合。
这项应用半导体加工时用的离子束技术，是在部件表面照射离子化的氢分子后，加３００摄氏度高温，使部件与部件接合。接合后，部件并不由于加热而受损伤，接合强度很大。试验确认，铝、硅、陶瓷等不同材料都能接合。
该公司用这项技术试制成直径５．５毫米、全长２０毫米的微型机器。机器前端安装了涡流传感器。这台微型机器钻进设备的管道里检查裂纹或伤痕。驱动部分采用压电器件，随着电压变化而伸缩。这和尺蠖的行进方式相同，微型机器以每秒６毫米的速度移动。日本电装公司认为这项技术可成为微型机器组装的基本技术。