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低温超高真空泵

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1988-01-23 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

低温超高真空泵日本《日经产业新闻》十一日报道，川崎重工业公司研制成世界最高效率的低温超高真空泵。这种泵的换气（以氮换算）速度每秒二十万升，可用于太'...

低温超高真空泵

日本《日经产业新闻》十一日报道，川崎重工业公司研制成世界最高效率的低温超高真空泵。这种泵的换气（以氮换算）速度每秒二十万升，可用于太空研究和半导体制造装置。

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