最小的测微尺

【法新社东京２月２４日电】日本日立公司说，它同日本国立计量学研究实验所共同研制出世界上最小的度量基准光栅，这是一种测微尺。
这种尺子能标定五千分之一毫米的尺寸，这也是目前最先进的存储装置２５６兆位芯片上的集成电路布线尺寸。
日立公司说，该光栅的精度为一百万分之一毫米，能满足电子束计量系统的几项要求。
日立公司说：“下一步是用这种基准光栅制造扫描电子微观计量系统，并形成批量生产。”
研究人员利用干涉光刻和各向异性化学蚀刻法在硅晶体上制光栅。