微型机器制造业在美欧兴起

【美国《新闻周刊》１１月３０日一期文章】题：微型机器可能成为下次工业浪潮
试想有一种如同蚊虫一般大小的机器人，其任务是：在人体的血管系统运行，以修补心脏的缺损。直到不久前，这种机器还是科学幻想中的东西。现在，在全世界为数不多的实验室里，科学家们正在精心制作迟早能够进行这种令人难以置信的运行装置。他们正在制作极小的齿轮、涡轮机和电动机。它们的体积如此之小，以致６万台这样的电动机所占的地方只有一平方英寸。这种装置是革命性的新技术——微型机器——的零部件。美国全国科学基金会的乔治·黑兹尔里格说：“这显然是一种新工业。我认为，这将成为大工业。”
为制作微型机器，科学家们已采用使微型电子工业得到迅猛发展的同一技术。就在几十年前，计算机还是占满一个房间的笨重的庞然大物。今天，微小的计算机芯片控制着一切，从微波炉到导弹制导系统等等。工程师们正在使用类似的技术把机械装置缩小到仅能在显微镜下才能看到的程度。这种齿轮、电动机及其他元件是用在硅片上刻蚀图形的工艺制成的。这些只有在显微镜下才能看到的装置能够使外科大夫在人体内进行高难度的手术。
在美国电话电报公司贝尔实验室，卡格姆·加布里埃尔和威廉·特里默利用硅片加工技术来生产微型涡轮机和直径只有１２５微米的工作齿轮。这种齿轮的齿宽只有１５微米，还不到人的头发丝的１／５。在伯克利加利福尼亚大学，科学家们已生产出只有在显微镜下才看得见的操纵杆、弹簧、曲柄等零部件。在西德，科研人员正在研究一种不同的工艺，即Ｘ光石印技术。这种技术用Ｘ射线来制作精确度极高的微观结构，如超滤器等。