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无灯丝型离子源

字号+作者:参考消息 来源:参考消息 1992-12-16 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

无灯丝型离子源 日 本《日刊工业新闻》十二月四日报道,英国诺尔迪克公司开发的「高频激励无灯丝型离子源」是供半导体刻蚀用的离子源,不必更换灯丝,可连'...

无灯丝型离子源



本《日刊工业新闻》十二月四日报道,英国诺尔迪克公司开发的「高频激励无灯丝型离子源」是供半导体刻蚀用的离子源,不必更换灯丝,可连续使用一百小时以上。

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