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利用激光显微镜查明半导体漏电新技术

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1992-12-06 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

利用激光显微镜查明半导体漏电新技术日本《日经产业新闻》十一月三十日报道，日本电子公司使用激光显微镜，使检测半导体故障的灵敏度比过去提高了五十倍'...

利用激光显微镜查明半导体漏电新技术

日本《日经产业新闻》十一月三十日报道，日本电子公司使用激光显微镜，使检测半导体故障的灵敏度比过去提高了五十倍。这项新技术是利用光照射产生的光激励电流，加强观察半导体器件工作状况，能够检测氧化膜的漏电现象。

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