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绝缘膜上的单晶铝布线形成技术

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1992-11-08 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

绝缘膜上的单晶铝布线形成技术日本《日刊工业新闻》十月二十九日报道，东芝公司开发的这项技术是世界首创。单晶铝布线比现在大规模集成电路用的多晶铝'...

绝缘膜上的单晶铝布线形成技术

日本《日刊工业新闻》十月二十九日报道，东芝公司开发的这项技术是世界首创。单晶铝布线比现在大规模集成电路用的多晶铝布线的寿命长一百倍以上，已经确认：在相当于二十四年这么长的使用期间铝布线不破断。

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