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日开发出约缘薄膜形成技术

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1992-08-28 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

日开发出约缘薄膜形成技术日本《日经产业新闻》８月１３日报道，日本电气公司应用化学气相淀积法，在相当于存储信息的心脏部位的“浮栅”上形成厚度１５纳诺米的绝'...

日开发出约缘薄膜形成技术

日本《日经产业新闻》８月１３日报道，日本电气公司应用化学气相淀积法，在相当于存储信息的心脏部位的“浮栅”上形成厚度１５纳诺米的绝缘膜。这为生产６４兆位快擦型存储器开辟了道路。

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