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应用外延生长法使铝化合物以原子单位积层

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1992-08-21 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

应用外延生长法使铝化合物以原子单位积层日本《日经产业新闻》八月十一日报道，日本电信电话公司的超大规模集成电路研究所应用原子层外延生长法制成砷'...

应用外延生长法使铝化合物以原子单位积层

日本《日经产业新闻》八月十一日报道，日本电信电话公司的超大规模集成电路研究所应用原子层外延生长法制成砷化铝和砷化镓作材料的超微细构造的积层。这种积层只有一个原子的厚度，约一点九六纳诺米，可用于制作量子器件。

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