高能紫外线激光器用的光学薄膜的制造技术
日本《日经产业新闻》7月2日报道,新技术事业团和佳能公司开发的这项技术可使直径80厘米的透镜或镜片表面形成均匀的薄膜,是应用真空蒸镀法把氧化铝或氧化硅薄膜作多层镀覆。
高能紫外线激光器用的光学薄膜的制造技术 日本《日经产业新闻》7月2日报道,新技术事业团和佳能公司开发的这项技术可使直径80厘米的透镜或镜片表面形成均匀'...
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