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应用氟化氯准分子激光器的微细加工技术

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1992-06-16 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

应用氟化氯准分子激光器的微细加工技术日本《日经产业新闻》六月五日报道，松下电器产业公司的这项技术可进行零点二五微米的微细线路加工。'...

应用氟化氯准分子激光器的微细加工技术

日本《日经产业新闻》六月五日报道，松下电器产业公司的这项技术可进行零点二五微米的微细线路加工。

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