从废液中回收氟化合物的净水装置
《日本经济新闻》三月九日报道,日本东北大学和桥木化成公司等共同研制的这种再循环型净水系统,能使半导体制作过程中的氟化合物几乎完全回收并再利用,产生的污泥量可减少到过去处理废液时的十分之一。
从废液中回收氟化合物的净水装置 《日本经济新闻》三月九日报道,日本东北大学和桥木化成公司等共同研制的这种再循环型净水系统,能使半导体制作过程中的'...
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