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应用离子照射方法改善单晶膜的结晶性

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1992-01-20 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

应用离子照射方法改善单晶膜的结晶性日本《日刊工业新闻》一月八日报道，工业技术院名古屋工业技术试验所开发的应用离子加速器照射单晶膜改善结晶性的'...

应用离子照射方法改善单晶膜的结晶性

日本《日刊工业新闻》一月八日报道，工业技术院名古屋工业技术试验所开发的应用离子加速器照射单晶膜改善结晶性的技术已经确认有效，关键是控制照射角度。

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