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六十四兆位存储器生产用曝光装置

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1992-01-19 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

六十四兆位存储器生产用曝光装置日本《日经产业新闻》十二月十七日报道，美国ＳＶＧ平版印刷系统公司研制成可用于批量生产六十四兆位动态随机存储器的这种装'...

六十四兆位存储器生产用曝光装置

日本《日经产业新闻》十二月十七日报道，美国ＳＶＧ平版印刷系统公司研制成可用于批量生产六十四兆位动态随机存储器的这种装置，加工精度为零点三到零点三五微米。

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