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超小型接触式变位检测器

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1991-11-07 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

超小型接触式变位检测器日本《日刊工业新闻》十一月一日报道，东芝公司研制成的世界最小的变位检测器只有十五毫米，这种单晶硅制的检测器用于检测精密'...

超小型接触式变位检测器

日
本《日刊工业新闻》十一月一日报道，东芝公司研制成的世界最小的变位检测器只有十五毫米，这种单晶硅制的检测器用于检测精密加工部件的形状精度，精确度可达四纳诺米。

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