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高浓度臭氧发生装置

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1991-11-01 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

高浓度臭氧发生装置日本《日经产业新闻》十月二十一日报道，铃木商馆公司应用工业技术院电子技术综合研究所开发的技术，制成百分之七十以上高浓度臭氧束'...

高浓度臭氧发生装置

日本《日经产业新闻》十月二十一日报道，铃木商馆公司应用工业技术院电子技术综合研究所开发的技术，制成百分之七十以上高浓度臭氧束的发生装置，用于制作氧化物超导薄膜，还可用于提高半导体等的氧化处理的效率。

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