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硅片微细加工用小型同步加速器辐射光装置

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1991-10-31 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

硅片微细加工用小型同步加速器辐射光装置《日本工业新闻》十月十一日报道，住友电气工业公司研制成能够在二秒到三秒钟内微细加工一块硅片的直径约五米'...

硅片微细加工用小型同步加速器辐射光装置

《日本工业新闻》十月十一日报道，住友电气工业公司研制成能够在二秒到三秒钟内微细加工一块硅片的直径约五米的小型辐射光装置。

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