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超高速真空制造系统

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1991-10-27 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

超高速真空制造系统日本《日刊工业新闻》十月十五日报道，ＳＭＣ公司和文部省高能物理学研究所的石丸教授协作制成的这种系统能够在六分钟内制成容器里的超真'...

超高速真空制造系统

日本《日刊工业新闻》十月十五日报道，ＳＭＣ公司和文部省高能物理学研究所的石丸教授协作制成的这种系统能够在六分钟内制成容器里的超真空，这种超真空是制造大规模集成电路等不可少的。

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