金钢石薄膜温度传感器
【日本《日经产业新闻》2月1日报道】题:神户炼钢公司利用金刚石薄膜半导体研制成功温度传感器
这种长3毫米、宽1.5毫米的金刚石薄膜电子元件,在世界上是首次研制成功。
新的温度传感器是采取双层结构,即在硅片上将大约2微米的绝缘金刚石薄膜与添加硼的P型半导体金刚石薄膜重叠在一起。金刚石半导体在气温600摄氏度以下不会分解,而且随着温度的上升,金刚石半导体的抗分解值会下降。
研究人员利用这种特点成功地研制出了测量高温的温度传感器。
这种新温度传感器可以测定200至400摄氏度之间的高温温度。

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