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硅片加工新技术

字号+作者:参考消息 来源:参考消息 1990-12-11 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

硅片加工新技术 日本《日经产业新闻》十一月二十二日报道,日本电子公司开发了在硅片表面刻蚀宽度为一纳诺米的极细的槽的超微细加工技术,是利用观察原子'...

硅片加工新技术


日本《日经产业新闻》十一月二十二日报道,日本电子公司开发了在硅片表面刻蚀宽度为一纳诺米的极细的槽的超微细加工技术,是利用观察原子用的扫描型隧道电子显微镜实现的。

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