高速生产陶瓷薄膜

【日本《日经产业新闻》１０月１１日报道】三菱电机公司已经开发出利用二氧化碳激光高速生产高强度陶瓷薄膜的技术。其方法是用激光将陶瓷熔化蒸发，而后使它粘在做底板的半导体和金属上面。在真空装置内放入底板和陶瓷，再加上适量的氧，便得到了强度超过原来１０倍的陶瓷薄膜。另外，无需把底板放在高温下加温，产品的质量很好。
按照过去那种在真空中利用二氧化碳激光照射蒸发的方法，陶瓷薄膜很快就会剥落。现在通过加入很少量的氧，使这个问题得到了解决。