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硅衬底上积砷化镓结晶薄膜的技术

字号+作者:参考消息 来源:参考消息 1990-09-20 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

硅衬底上积砷化镓结晶薄膜的技术 日本《日经产业新闻》报道,富士通研究所开发的这项技术是在砷化镓和硅片之间夹砷化铝膜,使砷化镓的结晶不会变乱,结晶缺'...

硅衬底上积砷化镓结晶薄膜的技术


日本《日经产业新闻》报道,富士通研究所开发的这项技术是在砷化镓和硅片之间夹砷化铝膜,使砷化镓的结晶不会变乱,结晶缺陷减到过去的十六分之一,成为世界最高水准的膜。

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