半导体力感传感器

【日本《日经产业新闻》８月１５日报道】生产电子零件的恩普拉斯公司最近研制出一种能够检测出三维力的方向和大小的半导体力感传感器，并决定于明年４月份开始销售。
这种力感传感器的体积只有过去利用金属膜制作的力感传感器体积的１／１０。
据说这种传感器便于批量生产，也可望大幅度降低成本。它适用于工作机器人及三维测定器等设备上面，还能具备抓住柔软物体等进行细致作业的功能。
该产品呈直径３．２厘米的圆盘状，体积约为６立方厘米。由于使用了半导体，其灵敏度大幅度提高。以往要１０克以上的力才能检测出来，而新产品能够检测出小至０．１克的力。