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一兆伏的离子注入装置

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1990-08-21 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

一兆伏的离子注入装置日本《日经产业新闻》八月十日报道，日新电机公司开发的这种离子注入装置把离子注入的深度为现在的十倍，而且注入过程从五到十次缩'...

一兆伏的离子注入装置

日本《日经产业新闻》八月十日报道，日新电机公司开发的这种离子注入装置把离子注入的深度为现在的十倍，而且注入过程从五到十次缩短为一次，从而大大缩短半导体加工工程。

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