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应用电子回旋共振等离子体激励的分子线餐延法使砷化镓选择成长

字号+作者:参考消息 来源:参考消息 1990-08-15 08:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

应用电子回旋共振等离子体激励的分子线餐延法使砷化镓选择成长 日本《日刊工业新闻》七月二十五日报道,日本电信电话公司的光电子学研究所应用的这个方'...

应用电子回旋共振等离子体激励的分子线餐延法使砷化镓选择成长


日本《日刊工业新闻》七月二十五日报道,日本电信电话公司的光电子学研究所应用的这个方法有助于制造极微细的半导体器件。

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