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薄膜制造新方法

字号+作者:参考消息 来源:参考消息 1990年08月15日08:00:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

薄膜制造新方法 日本《日刊工业新闻》八月二日报道,东京工业大学工业材料研究所和住友水泥公司等创造的这个新方法是分子线外延生长法和准分子激光器结'...

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薄膜制造新方法


日本《日刊工业新闻》八月二日报道,东京工业大学工业材料研究所和住友水泥公司等创造的这个新方法是分子线外延生长法和准分子激光器结合,在硅衬底上积累氧化铈
二十至三十层。
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