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硅片的干洗技术

字号+作者：参考消息来源：参考消息 1989年11月16日08:00:00 评论(创建话题) 收藏成功收藏本文

硅片的干洗技术日本《日刊工业新闻》十一月十日报道，富士通公司和富士通研究所共同创造的这项技术是利用紫外光制作氯气的中性粒子，与衬片上的金属发生'...

硅片的干洗技术

日本《日刊工业新闻》十一月十日报道，富士通公司和富士通研究所共同创造的这项技术是利用紫外光制作氯气的中性粒子，与衬片上的金属发生化学反应而蒸发，比现在应用的湿能法除去衬片金属污染的效果更好。

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