制造电子器件的新技术
《日本经济新闻》十一月十九日报道，日立制作所研创的这项新技术称作「微波等离子反应性蒸镀技术」，是使超导薄膜和硅衬底结合制成电子器件。在四百三十到四百五十摄氏度条件下即可制造钇钡铜氧化物薄
膜。
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制造电子器件的新技术
制造电子器件的新技术 《日本经济新闻》十一月十九日报道，日立制作所研创的这项新技术称作「微波等离子反应性蒸镀技术」，是使超导薄膜和硅衬底结合制成'...
《日本经济新闻》十一月十九日报道，日立制作所研创的这项新技术称作「微波等离子反应性蒸镀技术」，是使超导薄膜和硅衬底结合制成电子器件。在四百三十到四百五十摄氏度条件下即可制造钇钡铜氧化物薄
膜。
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